環境センサ情報によるクリーン空調制御システムの開発と適用事例
産業用クリーンルーム(CR)におけるファンフィルターユニット(FFU)の循環風量は、一般に最大発塵状態を想定して計画・運用される。したがって、発塵が少ない通常運用時は循環風量が過剰となり、清浄度も過大(必要以上にきれい)になる傾向にある。このような背景の下、当社では、作業者および作業行動による発塵が主な発塵源であるCR内の環境を、画像型人感センサとパーティクルセンサで捉え、その情報を基にFFUを制御するシステム「クリーンEYE」を開発し、さらなる省エネを実現した。本稿では、その開発内容と適用事例を報告する。
Development of a Control System for FFU Utilizing Particle and Motion Sensors and Its Application Example
The circulation air volume of a fan filter unit (FFU) in an industrial cleanroom (CR) is generally planned and operated under the assumption of maximum dust emission. Therefore, during normal operation when dust generation is low, the circulation air volume tends to be excessive and the cleanliness tends to be cleaner than necessary for the operation. Under these circumstances, we have developed “Clean EYE”, a system that uses an image-type motion sensor and a particle sensor to monitor the environment in the CR, where dust is mainly generated by workers and their work, and controls the FFU based on the information, to achieve further energy savings. This paper reports on the development and application of the system.
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